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OLED另一个国产痛点FMM,Fine Metal Mask(精细金属掩模版)

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发表于 2018-2-24 18:47:40 | 显示全部楼层 |阅读模式
OLED另一个国产痛点FMM 解析mask里面的概念误导“门道”。% T9 J, c- ?4 }  f4 w

* d# \; G) @2 X: Z# HDisplay 产线上使用的Mask 为两种:Array 段和CF 段 (TFT-LCD)用的、以石英玻璃为基础材料的曝光Photomask; 和AMOLED 段以金属为基本材料的Mask (Open Mask & FMM)。
. ?( a& T% I# ~- V  }! b& f
" n1 ~) z" c) H- B" P  b  Array 段用的曝光Mask 为阻光曝光用,其基本材料为石英玻璃,通过在玻璃上制作金属铬Cr 作为光遮盖。9 M2 a" L. E7 X

3 s- n# E; D- t7 `  在使用时Cr 面与PR 胶接触进行曝光。Photomask 可以进一步被分为Binary Mask 和Half-tone Mask(3):
/ j5 o: R( u' w+ P* p: f, c
4 w. [! ?6 E3 c* u- Y  • Binary Mask: 该类型mask 上区域分为全透光区域和不透明区域。. q% s9 f5 k% a9 M

; g/ g5 g* `$ I. l" q% g: w  • Half-tone Mask: 除去以上两个区域外,该Mask 上还存在半透明区域。通过控制半透明区域的光透过量可以控制下方PR 胶刻蚀后的图案的高度。该Mask 亦被称为Gray-Scale Mask 和D Mask。
/ t, g: {) S% \1 n* m9 o+ n/ W
, D; y2 S4 }. ^8 s9 F 5.jpg 7 z* g/ _5 Q+ z5 {& g

6 Y+ X: T- i& e9 Y, N) @5 [  Fig L Binary Mask 和Half-tone Mask(3)  Z1 P' @4 C; L* u! X

" ^. c( K% y, l2 ^- \, D, C" j  Table L1 PhotoMask 主要参数(3)
. a$ E. r  {# ?  M: K: {+ R7 w
% ^4 a$ q7 n" t0 g8 ?( w 6.jpg 8 z" i8 ~1 {+ g2 p6 m
/ k  ]/ P" E7 |+ J6 U9 k# u- A5 n
  **Soda: Sodium Carbonate' _; _, f- r- i  g, c- n

  ]" j' U9 m3 |; U( K2 _( i  Open Mask 和FMM 材料为合金,其材质一般为因瓦合金,简称为INVAR。INVAR 为是镍Ni 含量为35.4%左右的铁合金, 且在-20℃~20℃下热膨胀系数平均值为1.6 × 10-6/℃。5 ]" a* C" U1 q/ X2 f  O
" X4 x, D: o$ }: O
  Open Mask 主要使用与AMOLED 中HIL、HTL 和金属的蒸镀。在AMOLED 技术的WLOED 中亦得到广泛的运用。Open Mask 其与FMM 主要区别是精度上的差异。
- V5 g, f. s# k
6 \  \8 Q; @8 Q8 x2 C  FMM 掩模版为显示屏生产必不可少的一个材料。在AMOLED 的生产中,FMM 主要运用于AMOLED 段RGB 材料的蒸镀所用。' O/ p+ C+ Q$ J% T7 t3 Q. o
8 b9 F4 X2 }" E: o: [, V% y4 g8 k
  产线上使用FMM 蒸镀AMOLED 时,除去在较高温度下(80℃左右)金属形变和金属热膨胀的不利影响外,随着FMM 尺寸的变大,FMM 中部亦容易产生形变,导致蒸镀材料的错位,并最终产生EML 层错位混色和金属过孔无法覆盖等现象。% ?( q! h5 d3 Q, f
( k* \/ I3 k) {# C& o. b
  因为在现阶段FMM 很难兼顾大面积、低重量、低热膨胀系数的要求,所以在产线上往往在cell 段对做完TFT 的玻璃基板采取切半或切四的方法进行蒸镀以提高良率。
. F0 O8 Y3 p4 e
4 ~  H) o6 @4 N2 m- N  Table L2 FMM 主要参数(4)
# b8 w+ \' T: E5 @5 m+ P
' G9 n, x. s; t' U. u 7.jpg 0 U' H+ W  T4 t6 u. r0 N
9 _  R' [, W) p9 ?
4 W) C' F4 e; S$ v8 |
  因为蒸镀材料会在FMM上沉积,所以FMM从理论上而言是一种昂贵的易耗品。在产线上生产时,FMM在进行数次蒸镀后都需要进行清洗,而同一个工艺段往往需要多块FMM作为备用且相互轮流进行蒸镀以保证生产的效率。
5 M/ \- q. d8 T, K2 b, R: c' p
  生产FMM的方式主要有三种(1):蚀刻、电铸和多重材料复合。
+ j0 W! n5 |0 o, l4 ?9 s- a3 r& y" Y! X3 n0 r* i; D  A
  主要的OLED面板用如大日本印刷(Dai Nippon Printing)、凸版印刷(TOPPAN)和达运等均采用蚀刻技术;
4 v( W+ l% n2 u# ~' w
4 p" A- t+ L' F, A# O/ z: B2 d8 A  而日本Athene与Hitachi Maxell则更擅长与电铸领域(版厚约5 um);* O0 r0 W+ J# `/ Q" n$ A. D
2 n! x+ ]- C$ R. L6 |
  多重材料复合法主要采用树脂和金属材料混合以制作FMM以应对热膨胀,V-Technology目前具有做到厚度为5um,且成膜精度位置为2um FMM的能力(向1 um发展)(1)。; `, }9 a, ^2 T3 n1 s/ ^% b( D. p! a
发表于 2018-2-28 10:32:44 | 显示全部楼层
没有材料之痛
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发表于 2018-6-13 14:17:29 | 显示全部楼层
天津纪高科技 代理德国,美国Invar 36 铁镍合金,  厚度0.0015mm-0.1mm
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发表于 2018-6-13 14:44:58 | 显示全部楼层
' k6 h3 X0 _) B. ~" ]; H# [' D$ s
天津纪高科技 代理德国,美国Invar 36 铁镍合金,  厚度0.0015mm-0.1mm' D6 L2 }0 ~4 Y: |; G! j( R
13920433630
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发表于 2018-7-7 16:00:10 | 显示全部楼层
这基本上都被垄断了啊
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发表于 2018-7-20 15:08:29 | 显示全部楼层
vbnm 发表于 2018-6-13 14:177 ?* a: d; ?4 F  j
天津纪高科技 代理德国,美国Invar 36 铁镍合金,  厚度0.0015mm-0.1mm

5 k! v2 W; x. r( y7 j% p: C王  总   ?
6 j) K. W4 d1 I, s  t
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发表于 2018-8-2 21:32:22 | 显示全部楼层
代理韩国的PR,shadowmask用
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发表于 2018-8-8 22:48:38 来自手机 | 显示全部楼层
楼主好厉害呀
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发表于 2018-8-24 14:56:31 | 显示全部楼层
我公司提供进口FMM合金膜片,LG 已经量产产品,有需求请联系,Lawrence.li@glomax.cn
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发表于 2018-9-26 22:18:17 | 显示全部楼层
楼主厉害了
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