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OLED另一个国产痛点FMM,Fine Metal Mask(精细金属掩模版)

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发表于 2018-2-24 18:47:40 | 显示全部楼层 |阅读模式
OLED另一个国产痛点FMM 解析mask里面的概念误导“门道”。
3 \2 p' |/ }4 {# ?) c
" P4 `3 V, m( M4 \* s* V' T/ jDisplay 产线上使用的Mask 为两种:Array 段和CF 段 (TFT-LCD)用的、以石英玻璃为基础材料的曝光Photomask; 和AMOLED 段以金属为基本材料的Mask (Open Mask & FMM)。# S: @5 W5 t2 f6 Y) H" o2 N
' o4 h* A; A' t" [1 _6 ]8 B
  Array 段用的曝光Mask 为阻光曝光用,其基本材料为石英玻璃,通过在玻璃上制作金属铬Cr 作为光遮盖。; `. U* d" D  G. c+ Q; V2 ~
, c2 h5 y5 Q/ n; {9 @
  在使用时Cr 面与PR 胶接触进行曝光。Photomask 可以进一步被分为Binary Mask 和Half-tone Mask(3):, A- S$ m, m8 A/ z, Z  R
, P& v7 V4 M0 E9 n. S: u7 ?) w
  • Binary Mask: 该类型mask 上区域分为全透光区域和不透明区域。
1 k% ?. r' L  F3 M7 O1 f3 r1 X" ^3 o! b
  • Half-tone Mask: 除去以上两个区域外,该Mask 上还存在半透明区域。通过控制半透明区域的光透过量可以控制下方PR 胶刻蚀后的图案的高度。该Mask 亦被称为Gray-Scale Mask 和D Mask。! f" D" @- ^- A: C+ P

  i6 d% }. o' B 5.jpg
: S6 f  v3 Z& ^9 Y; h' I
: O& [4 D( `5 |  e( P) \6 i+ ~  Fig L Binary Mask 和Half-tone Mask(3)
( o  ^- n: @7 c$ @% t. C$ G- Q6 K
  Table L1 PhotoMask 主要参数(3)( ^+ G! w* n. Y, T. z" }8 v* M

' F; \( U% I  c& K& {. ~ 6.jpg / x  ^( A& O# t, x

1 V! p2 b* C/ s- J# a! j; ]  **Soda: Sodium Carbonate/ ~9 P# L( z2 L

2 p0 t4 W. m* T+ ?/ y% ]  Open Mask 和FMM 材料为合金,其材质一般为因瓦合金,简称为INVAR。INVAR 为是镍Ni 含量为35.4%左右的铁合金, 且在-20℃~20℃下热膨胀系数平均值为1.6 × 10-6/℃。
* Z) E  ^& `+ F
/ x4 Z3 r' B' e' R5 k  Open Mask 主要使用与AMOLED 中HIL、HTL 和金属的蒸镀。在AMOLED 技术的WLOED 中亦得到广泛的运用。Open Mask 其与FMM 主要区别是精度上的差异。
4 k+ T+ D6 E; G- \" [/ f
4 \+ V) w8 j/ m/ @" p% P. R  FMM 掩模版为显示屏生产必不可少的一个材料。在AMOLED 的生产中,FMM 主要运用于AMOLED 段RGB 材料的蒸镀所用。. a3 g' w; e" N! N/ [+ e
8 d& _5 \2 j9 e6 `
  产线上使用FMM 蒸镀AMOLED 时,除去在较高温度下(80℃左右)金属形变和金属热膨胀的不利影响外,随着FMM 尺寸的变大,FMM 中部亦容易产生形变,导致蒸镀材料的错位,并最终产生EML 层错位混色和金属过孔无法覆盖等现象。. r3 S3 Z/ {: a

6 f; \- Q; t* W: R9 z4 O  因为在现阶段FMM 很难兼顾大面积、低重量、低热膨胀系数的要求,所以在产线上往往在cell 段对做完TFT 的玻璃基板采取切半或切四的方法进行蒸镀以提高良率。4 t6 T2 H1 K; t7 T, T7 q
# T& [9 ^. O' |4 I( L; F/ c7 _- T
  Table L2 FMM 主要参数(4)
2 S" k6 C% |( ~* m8 {6 j* t; V7 j: b' K; Y0 i9 S! @. t2 G
7.jpg
! Q! {- e; y0 y9 `# A  F) {/ F* {& O& G( [/ T
/ a7 g2 V' m1 c/ y, g
  因为蒸镀材料会在FMM上沉积,所以FMM从理论上而言是一种昂贵的易耗品。在产线上生产时,FMM在进行数次蒸镀后都需要进行清洗,而同一个工艺段往往需要多块FMM作为备用且相互轮流进行蒸镀以保证生产的效率。
+ ?8 W8 u1 S' |6 M+ U( Q1 n0 ~9 T6 ]. d
  生产FMM的方式主要有三种(1):蚀刻、电铸和多重材料复合。8 s# W" o4 M* T0 g' a
3 ?  ]8 z- S2 |+ O+ Q" k
  主要的OLED面板用如大日本印刷(Dai Nippon Printing)、凸版印刷(TOPPAN)和达运等均采用蚀刻技术;5 P9 P5 ~: w+ h2 a/ G$ a* s
: Q: p& o: o8 [9 i7 f" h
  而日本Athene与Hitachi Maxell则更擅长与电铸领域(版厚约5 um);8 ]6 t* o- K6 }1 x: `

4 z) X, j, F1 b( A- X3 B  多重材料复合法主要采用树脂和金属材料混合以制作FMM以应对热膨胀,V-Technology目前具有做到厚度为5um,且成膜精度位置为2um FMM的能力(向1 um发展)(1)。
- c! \9 Y; Z. u* y3 c! G
发表于 2018-2-28 10:32:44 | 显示全部楼层
没有材料之痛
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发表于 2018-6-13 14:17:29 | 显示全部楼层
天津纪高科技 代理德国,美国Invar 36 铁镍合金,  厚度0.0015mm-0.1mm
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发表于 2018-6-13 14:44:58 | 显示全部楼层
: _0 u; w/ t2 M( i- }4 D% G
天津纪高科技 代理德国,美国Invar 36 铁镍合金,  厚度0.0015mm-0.1mm9 |% y0 `7 L8 j0 S2 h  Q7 b2 a9 d3 \
13920433630
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发表于 2018-7-7 16:00:10 | 显示全部楼层
这基本上都被垄断了啊
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发表于 2018-7-20 15:08:29 | 显示全部楼层
vbnm 发表于 2018-6-13 14:17
8 w& E, h, I9 z, S; n6 w天津纪高科技 代理德国,美国Invar 36 铁镍合金,  厚度0.0015mm-0.1mm
+ w$ u6 R! k* A0 e5 D6 K9 z
王  总   ?$ V; T7 }% H4 v0 a
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发表于 2018-8-2 21:32:22 | 显示全部楼层
代理韩国的PR,shadowmask用
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发表于 2018-8-8 22:48:38 来自手机 | 显示全部楼层
楼主好厉害呀
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发表于 2018-8-24 14:56:31 | 显示全部楼层
我公司提供进口FMM合金膜片,LG 已经量产产品,有需求请联系,Lawrence.li@glomax.cn
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发表于 2018-9-26 22:18:17 | 显示全部楼层
楼主厉害了
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