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OLED另一个国产痛点FMM,Fine Metal Mask(精细金属掩模版)

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发表于 2018-2-24 18:47:40 | 显示全部楼层 |阅读模式
OLED另一个国产痛点FMM 解析mask里面的概念误导“门道”。( A* c( y- C8 k! Q# W9 M
/ Y9 `- V( C+ i0 {5 o4 |' ?1 }
Display 产线上使用的Mask 为两种:Array 段和CF 段 (TFT-LCD)用的、以石英玻璃为基础材料的曝光Photomask; 和AMOLED 段以金属为基本材料的Mask (Open Mask & FMM)。$ q7 J! {/ Y1 Q( y' r+ T  d
2 W. @0 c0 N* U4 M/ u' X
  Array 段用的曝光Mask 为阻光曝光用,其基本材料为石英玻璃,通过在玻璃上制作金属铬Cr 作为光遮盖。
" L- d0 z6 G: N8 T. x* ]) g. _" o! Y+ N  W6 @: }( s
  在使用时Cr 面与PR 胶接触进行曝光。Photomask 可以进一步被分为Binary Mask 和Half-tone Mask(3):( l: G6 F+ y! r/ f* J- S5 [
% b8 W" w3 I" Q. Z, p: A
  • Binary Mask: 该类型mask 上区域分为全透光区域和不透明区域。. m. u3 n1 |; }) h# @4 K

/ u  ]! J* V6 n. _4 V  • Half-tone Mask: 除去以上两个区域外,该Mask 上还存在半透明区域。通过控制半透明区域的光透过量可以控制下方PR 胶刻蚀后的图案的高度。该Mask 亦被称为Gray-Scale Mask 和D Mask。
1 ^  z7 Y4 T/ E& o. \1 P0 R7 T5 A) z' b& J) ^6 F
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5 ?% U1 a. H& L. Z4 Z9 ~( H  Fig L Binary Mask 和Half-tone Mask(3)" C7 [4 z* |9 ~4 X  r1 Q

; F$ k2 a" t+ G; Y' P  Table L1 PhotoMask 主要参数(3)2 K" r' p7 C+ y: k4 A3 B0 N
1 t8 O* \: M* P/ ~1 Q" V
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, n7 m8 x$ M- s" M# q* |2 v" T  k  a- q  D
  **Soda: Sodium Carbonate
2 b$ H% v) X- `$ w! ?
- O) Z$ G9 i6 d4 \  Open Mask 和FMM 材料为合金,其材质一般为因瓦合金,简称为INVAR。INVAR 为是镍Ni 含量为35.4%左右的铁合金, 且在-20℃~20℃下热膨胀系数平均值为1.6 × 10-6/℃。
: H) Y- y6 S  a' `& G' v  `9 m: C2 N
  Open Mask 主要使用与AMOLED 中HIL、HTL 和金属的蒸镀。在AMOLED 技术的WLOED 中亦得到广泛的运用。Open Mask 其与FMM 主要区别是精度上的差异。3 O( ?+ [3 V- d& B

, b: F! I. N5 Q' E/ `+ D7 s  FMM 掩模版为显示屏生产必不可少的一个材料。在AMOLED 的生产中,FMM 主要运用于AMOLED 段RGB 材料的蒸镀所用。' M* U3 L# y2 ~. K5 S
. G+ H* N# L1 M& z) O: y" y8 T3 V+ f; F
  产线上使用FMM 蒸镀AMOLED 时,除去在较高温度下(80℃左右)金属形变和金属热膨胀的不利影响外,随着FMM 尺寸的变大,FMM 中部亦容易产生形变,导致蒸镀材料的错位,并最终产生EML 层错位混色和金属过孔无法覆盖等现象。# ~" I  P$ p! U: i* t2 K
, q7 Y% T0 i6 Y1 V- d2 m
  因为在现阶段FMM 很难兼顾大面积、低重量、低热膨胀系数的要求,所以在产线上往往在cell 段对做完TFT 的玻璃基板采取切半或切四的方法进行蒸镀以提高良率。) A: H$ e1 K, w6 P: b2 l6 n. D
( s3 m5 A6 ?& e& {# b
  Table L2 FMM 主要参数(4)
$ V6 A+ n7 n% w9 f4 E4 ]2 q9 J8 G9 m5 w: D8 \$ i0 O% V- H2 k
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* m4 c1 q* M0 ]2 k* q$ X/ h4 p: [% l6 L! h6 z
6 g) F4 \) G  e& l  n( ~  c6 j4 @
  因为蒸镀材料会在FMM上沉积,所以FMM从理论上而言是一种昂贵的易耗品。在产线上生产时,FMM在进行数次蒸镀后都需要进行清洗,而同一个工艺段往往需要多块FMM作为备用且相互轮流进行蒸镀以保证生产的效率。
3 j5 G+ q, P1 L/ l. m2 C* {, D) d" W# v  u
  生产FMM的方式主要有三种(1):蚀刻、电铸和多重材料复合。
% k. o3 y- F9 ?; R
# A8 }$ Y% F: S- [% ]  主要的OLED面板用如大日本印刷(Dai Nippon Printing)、凸版印刷(TOPPAN)和达运等均采用蚀刻技术;
5 Z; `% c  V& g9 r1 R& H
# i: W* g1 [! T, Q  而日本Athene与Hitachi Maxell则更擅长与电铸领域(版厚约5 um);0 Z5 i9 Z% B4 I: o# G2 y
5 Q5 G; n) C* H2 v9 J$ J8 Z6 J
  多重材料复合法主要采用树脂和金属材料混合以制作FMM以应对热膨胀,V-Technology目前具有做到厚度为5um,且成膜精度位置为2um FMM的能力(向1 um发展)(1)。
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发表于 2018-2-28 10:32:44 | 显示全部楼层
没有材料之痛
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发表于 2018-6-13 14:17:29 | 显示全部楼层
天津纪高科技 代理德国,美国Invar 36 铁镍合金,  厚度0.0015mm-0.1mm
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发表于 2018-6-13 14:44:58 | 显示全部楼层

: M; Q6 _9 D; P5 g( \天津纪高科技 代理德国,美国Invar 36 铁镍合金,  厚度0.0015mm-0.1mm& j& h5 b+ T$ ~# a* `: E
13920433630
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发表于 2018-7-7 16:00:10 | 显示全部楼层
这基本上都被垄断了啊
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发表于 2018-7-20 15:08:29 | 显示全部楼层
vbnm 发表于 2018-6-13 14:171 c% X$ W! s; C0 q: c) n
天津纪高科技 代理德国,美国Invar 36 铁镍合金,  厚度0.0015mm-0.1mm

8 i# t/ c6 ~5 B9 y王  总   ?! X9 ^* @$ ~% m- o& n
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发表于 2018-8-2 21:32:22 | 显示全部楼层
代理韩国的PR,shadowmask用
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发表于 2018-8-8 22:48:38 来自手机 | 显示全部楼层
楼主好厉害呀
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发表于 2018-8-24 14:56:31 | 显示全部楼层
我公司提供进口FMM合金膜片,LG 已经量产产品,有需求请联系,Lawrence.li@glomax.cn
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发表于 2018-9-26 22:18:17 | 显示全部楼层
楼主厉害了
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