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OLED另一个国产痛点FMM,Fine Metal Mask(精细金属掩模版)

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发表于 2018-2-24 18:47:40 | 显示全部楼层 |阅读模式
OLED另一个国产痛点FMM 解析mask里面的概念误导“门道”。
" w$ e* o' W1 |
8 c( I. t2 z' v7 g& U3 U. hDisplay 产线上使用的Mask 为两种:Array 段和CF 段 (TFT-LCD)用的、以石英玻璃为基础材料的曝光Photomask; 和AMOLED 段以金属为基本材料的Mask (Open Mask & FMM)。1 S1 @4 K) z0 j! z- c( B! r

7 s/ c, h* I  z& W; N4 u6 a0 j5 ]  Array 段用的曝光Mask 为阻光曝光用,其基本材料为石英玻璃,通过在玻璃上制作金属铬Cr 作为光遮盖。
. F3 g9 ]2 _1 X; V& s! {5 O3 Z7 _6 ?/ S: _+ M3 a' h, X% S
  在使用时Cr 面与PR 胶接触进行曝光。Photomask 可以进一步被分为Binary Mask 和Half-tone Mask(3):
1 @* \4 t9 H4 w; r) H. g/ H: z* S9 T" t
  • Binary Mask: 该类型mask 上区域分为全透光区域和不透明区域。
6 ?6 R- p3 P; @: N
4 |9 k7 `+ M7 {* o# U/ P  • Half-tone Mask: 除去以上两个区域外,该Mask 上还存在半透明区域。通过控制半透明区域的光透过量可以控制下方PR 胶刻蚀后的图案的高度。该Mask 亦被称为Gray-Scale Mask 和D Mask。3 t( z" [& r1 u% h+ z5 [

# Y( |. B/ o2 i* G1 n2 M 5.jpg # R& f0 @- I, v2 ^

7 n/ U1 v8 k% F! R; U' G3 o  Fig L Binary Mask 和Half-tone Mask(3)
8 J- I* X: J- C+ ]2 J; e! i+ K
4 z% m6 e1 C: z- [9 C  Table L1 PhotoMask 主要参数(3)/ E" e7 P" K2 J  \9 W
! Q1 `& W- m' X6 m+ y# X9 ^
6.jpg
; J) r) e0 c$ t" s/ E
% o. e+ m8 r# X7 P2 l, |  **Soda: Sodium Carbonate
; O4 N) K0 _8 b- F) M/ B; f) |' o$ x, t! {8 ~
  Open Mask 和FMM 材料为合金,其材质一般为因瓦合金,简称为INVAR。INVAR 为是镍Ni 含量为35.4%左右的铁合金, 且在-20℃~20℃下热膨胀系数平均值为1.6 × 10-6/℃。  C. ]* F, _2 q

, k  B2 C# k# g( p2 X  Open Mask 主要使用与AMOLED 中HIL、HTL 和金属的蒸镀。在AMOLED 技术的WLOED 中亦得到广泛的运用。Open Mask 其与FMM 主要区别是精度上的差异。6 N* Z  H& _2 e
: }& d) H7 l4 R- ^; p& F# k7 x
  FMM 掩模版为显示屏生产必不可少的一个材料。在AMOLED 的生产中,FMM 主要运用于AMOLED 段RGB 材料的蒸镀所用。) G) v; V% V) K( l# [& ~8 R, `
4 ~$ o2 c( n* P0 l. _- Y# P
  产线上使用FMM 蒸镀AMOLED 时,除去在较高温度下(80℃左右)金属形变和金属热膨胀的不利影响外,随着FMM 尺寸的变大,FMM 中部亦容易产生形变,导致蒸镀材料的错位,并最终产生EML 层错位混色和金属过孔无法覆盖等现象。
4 V3 R' D0 n, {' D$ s3 O4 `* ~0 I' f/ C( E* b. _  F2 O) b
  因为在现阶段FMM 很难兼顾大面积、低重量、低热膨胀系数的要求,所以在产线上往往在cell 段对做完TFT 的玻璃基板采取切半或切四的方法进行蒸镀以提高良率。
* {) A% G$ \) C2 L3 A
' _( l. v3 d; x/ w/ z7 I  Table L2 FMM 主要参数(4)
; w/ `; B8 @; o+ o, s/ @
2 \" x0 D- P: K  m8 W, W 7.jpg & w0 \$ g5 y6 M3 x0 \% p
8 A' }, s2 z% T2 f0 ?! x5 y2 ?

4 |/ S. }" n( x8 Q2 o3 _  因为蒸镀材料会在FMM上沉积,所以FMM从理论上而言是一种昂贵的易耗品。在产线上生产时,FMM在进行数次蒸镀后都需要进行清洗,而同一个工艺段往往需要多块FMM作为备用且相互轮流进行蒸镀以保证生产的效率。% S+ N3 O+ Q, ^' ~; O3 ^8 [2 r+ u

/ {2 }0 K  Q- h2 `; ]+ U' H  生产FMM的方式主要有三种(1):蚀刻、电铸和多重材料复合。
" [" }: U" W" n6 u. F5 [, u5 k
  主要的OLED面板用如大日本印刷(Dai Nippon Printing)、凸版印刷(TOPPAN)和达运等均采用蚀刻技术;
: f  j1 H7 N8 B0 r2 m$ u8 F  G$ _( G  e8 V% j: B
  而日本Athene与Hitachi Maxell则更擅长与电铸领域(版厚约5 um);0 U# Q  v0 U/ J9 T/ s
. d" x- E3 j  [: p. S+ V
  多重材料复合法主要采用树脂和金属材料混合以制作FMM以应对热膨胀,V-Technology目前具有做到厚度为5um,且成膜精度位置为2um FMM的能力(向1 um发展)(1)。
( s8 u1 x  z, [' d( @; J3 ?
发表于 2018-2-28 10:32:44 | 显示全部楼层
没有材料之痛
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发表于 2018-6-13 14:17:29 | 显示全部楼层
天津纪高科技 代理德国,美国Invar 36 铁镍合金,  厚度0.0015mm-0.1mm
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发表于 2018-6-13 14:44:58 | 显示全部楼层
1 n$ t# @, q( D7 H! T$ C
天津纪高科技 代理德国,美国Invar 36 铁镍合金,  厚度0.0015mm-0.1mm
- {7 B% N, H, F& X1 F/ Z13920433630
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发表于 2018-7-7 16:00:10 | 显示全部楼层
这基本上都被垄断了啊
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发表于 2018-7-20 15:08:29 | 显示全部楼层
vbnm 发表于 2018-6-13 14:17
! v% m' h- L) U天津纪高科技 代理德国,美国Invar 36 铁镍合金,  厚度0.0015mm-0.1mm
* Z+ Q  P4 x, |9 P
王  总   ?; w5 r6 }+ k3 p
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发表于 2018-8-2 21:32:22 | 显示全部楼层
代理韩国的PR,shadowmask用
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发表于 2018-8-8 22:48:38 来自手机 | 显示全部楼层
楼主好厉害呀
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发表于 2018-8-24 14:56:31 | 显示全部楼层
我公司提供进口FMM合金膜片,LG 已经量产产品,有需求请联系,Lawrence.li@glomax.cn
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发表于 2018-9-26 22:18:17 | 显示全部楼层
楼主厉害了
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