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关于蚀刻后短路的问题,求教大神

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发表于 2018-9-10 15:16:32 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位大神,最近生产中有一个问题一直在困扰我,黄光作业的产品曝光显影后外观检验未见显影不净,但是蚀刻后测试功能发现有短路不良,短路位置不固定,做了多种验证,基础的增强显影、蚀刻等验证都有做,但改一下就好一下,再做就又有问题,干膜也换了、显影液、蚀刻液都换新的也还是不行,曝光也排查过,没有发现照度有问题,甚至是用双氧水把DES线都循环过了也没能彻底解决,好了3天第4天就又出现了,也找干膜和药液供应商协助找原因,也都没能找出真正原因,着急,还请论坛大神指点迷津,不胜感激!!!以下附图
7 I$ ?+ W; E' M+ z 微信图片_20180910151307.jpg 微信图片_20180910151352.jpg / H8 ~0 N& N+ i  G9 a: Z! Y) T
发表于 2018-9-13 11:53:20 | 显示全部楼层
请问曝光光强是多少,显影液,蚀刻液的浓度及温度多少?每隔多少测试一次。
/ }  \$ S  Y0 K. q3 h  g4 D  g: \
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 楼主| 发表于 2018-9-13 18:44:57 | 显示全部楼层
yangxiukui 发表于 2018-9-13 11:53
/ E+ w, b5 f3 y& i7 \' O& a请问曝光光强是多少,显影液,蚀刻液的浓度及温度多少?每隔多少测试一次。

( x& ]0 d4 |$ l& Q  W1 K. l" D光强由于没有照度计没测试,但是用21阶的曝光尺去测可以达到5格,测了5个点,显影液0.6mol-0.85mol温度30-35℃都试了,蚀刻液浓度6mol温度45℃,一天会测试个3-5次。另外短路位置不固定。
) q. ?; |: n9 E& X/ A; t6 C
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 楼主| 发表于 2018-9-18 11:29:02 | 显示全部楼层
有没有大神来帮帮忙!不胜感激!!!
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发表于 2018-10-5 09:26:27 | 显示全部楼层
鼠标一抖,金币到手,手拎酱油,低头猛走
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发表于 2018-10-8 12:09:57 | 显示全部楼层
你好,可以认识一下交流交流吗?QQ26546422,谢谢。对蚀刻可以互相讨论。
% w; b2 C- X/ u+ L- o, o
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发表于 2018-10-9 17:45:33 | 显示全部楼层
鼠标一抖,金币到手,手拎酱油,低头猛走
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发表于 2018-10-9 20:39:12 | 显示全部楼层
一个多月都没解决不可能吧。。。期待楼主回复
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发表于 2018-10-9 20:41:29 | 显示全部楼层
ITO镀膜的均匀度?
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